激光干涉測(cè)量
激光干涉測(cè)量技術(shù)與儀器項(xiàng)目突破關(guān)鍵技術(shù)瓶頸(2019-06-12)
近日，在國(guó)家重大科技專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”等項(xiàng)目支持下，清華大學(xué)長(zhǎng)聘教授、精密儀器系學(xué)術(shù)委員會(huì)主任李巖研究團(tuán)隊(duì)完成的“高測(cè)速多軸高分辨率激光干涉測(cè)量技術(shù)與儀器”項(xiàng)目，突…[詳情]
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