表面化學分析
《表面化學分析 電子能譜 紫外光電子能譜分析指南》征求意見稿發布(2020-04-24)
目前國內外都尚未有關于紫外光電子能譜分析指南的標準,因此,全國微束分析標準化技術委員會表面化學分析分技術委員會于2019年提出制定《表面化學分析 電子能譜 紫外光電子能譜分析指南》國家標準。…[詳情]
《表面化學分析-二次離子質譜-硅中硼的深度剖析方法》意見征求(2020-04-24)
硼是半導體硅材料中的一種重要P型雜質元素,其在硅中濃度分布直接影響到硅材料及器件的性能,而二次離子質譜分析具有高靈敏度和較好的深度分辨本領,是檢測硅中硼濃度隨深度分布的有效手段。基于二…[詳情]