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一種高精度的圓分度測量原理

作者: 2013年07月17日 來源: 瀏覽量:
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1.引言  在圓分度測量系統(tǒng)中,目前多采用平均讀數(shù)原理來提高測量精度,其基本方法是通過在度盤圓周上均布多個讀數(shù)頭,利用平均讀數(shù)有規(guī)律地消除讀數(shù)中的部分諧波誤差。但這種方法存在一定局限性,一是讀數(shù)中仍然
 1引言

  在圓分度測量系統(tǒng)中,目前多采用平均讀數(shù)原理來提高測量精度,其基本方法是通過在度盤圓周上均布多個讀數(shù)頭,利用平均讀數(shù)有規(guī)律地消除讀數(shù)中的部分諧波誤差。但這種方法存在一定局限性,一是讀數(shù)中仍然殘留讀數(shù)頭個數(shù)整數(shù)倍的讀數(shù)諧波誤差,使測量精度難以進(jìn)一步提高(尤其當(dāng)讀數(shù)頭個數(shù)較少時);二是應(yīng)用平均讀數(shù)原理提高圓分度測量系統(tǒng)精度必須建立在多個讀數(shù)頭的特性完全一致的前提下,這就必然增加圓分度測量系統(tǒng)的制造難度和制造成本(尤其當(dāng)讀數(shù)頭個數(shù)較多時)。
  本文提出一種可有效提高圓分度測量系統(tǒng)精度的新的測量原理。實際測量證明,應(yīng)用本原理的圓分度測量系統(tǒng)精度高于采用平均讀數(shù)原理的圓分度測量系統(tǒng),同時還具有測量系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、測量易于實現(xiàn)等優(yōu)點。
  2.基本原理

  應(yīng)用本測量原理的圓分度測量系統(tǒng)如圖1所示。被測度盤2與標(biāo)準(zhǔn)度盤1同軸安裝,它們可繞共同的回轉(zhuǎn)中心O作同步轉(zhuǎn)動或相對轉(zhuǎn)動,讀數(shù)頭34分別對標(biāo)準(zhǔn)度盤進(jìn)行細(xì)分讀數(shù),瞄準(zhǔn)顯微鏡5實現(xiàn)對被測度盤的瞄準(zhǔn)。測量時,首先相對移動兩度盤,使瞄準(zhǔn)顯微鏡瞄準(zhǔn)被測度盤的“0”刻線時讀數(shù)4的讀數(shù)為0,并設(shè)定此時主軸回轉(zhuǎn)角度為0。當(dāng)主軸回轉(zhuǎn)角度為θ時,瞄準(zhǔn)顯微鏡瞄準(zhǔn)被測度盤的θi刻線,讀數(shù)頭43的讀數(shù)分別為aibi,在圓周上測得N組數(shù)據(jù)(θiaibi)(i012,…,N-1)。

1.標(biāo)準(zhǔn)度盤 2.被測度盤 
3,4.讀數(shù)頭 5.瞄準(zhǔn)顯微鏡

  圓分度測量系統(tǒng)存在三種主要誤差:標(biāo)準(zhǔn)度盤的刻劃誤差、主軸晃動誤差和度盤的安裝偏心誤差,它們均會引起讀數(shù)頭的讀數(shù)誤差,所以讀數(shù)頭34的讀數(shù)中實際包含了被測度盤的刻劃誤差Δi和上述三種主要誤差引起的讀數(shù)誤差,其中讀數(shù)誤差是一以2π為周期的函數(shù)誤差。若以fθ)表示此周期函數(shù)誤差,則有

  (1

則讀數(shù)頭4的讀數(shù)為

  (2

若測量過程中按順時針方向轉(zhuǎn)動,由于讀數(shù)頭3的位置與讀數(shù)頭4相差β角,故讀數(shù)頭3的讀數(shù)同樣包含讀數(shù)誤差,只是在相位上超前了β角,則有

  (3

  在讀數(shù)信號(aibi)中,不能直接分離出被測度盤的刻劃誤差Δi,如果將讀數(shù)頭3的讀數(shù)減去讀數(shù)頭4的讀數(shù),得到綜合信號di

  (4

經(jīng)過適當(dāng)處理后有

  (5

綜合信號di消除了被測度盤的刻劃誤差Δi,只包含測量系統(tǒng)的讀數(shù)誤差。di也是一周期為2π的諧波函數(shù)信號,故可應(yīng)用信號分析技術(shù)對di進(jìn)行譜分析。若圓周上的讀數(shù)個數(shù)為N時,利用FT分析可分離出di中的前N2階諧波誤差,即

  (6

從而可得到前N2階諧波的幅值和相位(Dkψk)。比較式(5)和式(6),可得讀數(shù)頭的讀數(shù)諧波誤差信號的幅值和相位(Akφk)與(Dkψk)的關(guān)系為

  (7

則被測度盤的刻劃誤差為

  (8

  式(8)即為被測度盤的測量結(jié)果。為了有效地分離出讀數(shù)誤差中的前N2階諧波誤差,必須合理確定讀數(shù)頭34之間的夾角ββ的確定原則是盡可能避免kβ2jπk12,…,N2j為整數(shù))。見式(5),當(dāng)kβ2jπ時,sinkβ2)=0,信號di中將不包含第k階諧波誤差,對di進(jìn)行FT分析時就不能分離出第k階諧波誤差信號的幅值和相位(Akφk),則在式(8)中將包含讀數(shù)誤差的第k階諧波誤差的影響,使測量結(jié)果的精度下降。例如,當(dāng)N24時,可取β56°β62°,但切不可取β60°,因為當(dāng)k6時,kβ2180°di中將不含第6階諧波信號,在式(8)中只能消除15階和712階諧波誤差,殘留了第6階諧波誤差,從而影響測量結(jié)果的精度。

  3.?dāng)?shù)據(jù)處理流程和測量結(jié)果比對

  依據(jù)上述原理,數(shù)據(jù)處理流程如下
  (1)在圓周上獲得N組測量數(shù)據(jù)(θiaibi)(i012,…,N-1);
  (2)求出綜合信號dibiaii012,…,N-1);
  (3)調(diào)用FT譜分析軟件,獲得綜合信號di中前N2階諧波的幅值和相位(Dkψk)(k12,…,N2);
  (4)按式(7)分離出讀數(shù)諧波誤差的幅值和相位(Akφk)(k12,…,N2);
  (5)按式(8)修正讀數(shù)頭4的讀數(shù)中的前N2階諧波誤差,得到被測度盤的刻劃誤差值Δii012,…,N-1);
  (6)被測度盤的零起刻線誤差為iΔiΔ0i012,…,N-1),最大間距誤差為fmaxΔi)-minΔi)(i012,…,N-1)。
  為驗證本文提出的圓分度測量原理分離和修正測量系統(tǒng)讀數(shù)諧波誤差的有效性,筆者分別進(jìn)行了采用本測量原理和采用平均讀數(shù)原理的模擬測量計算,并對二者進(jìn)行比較。設(shè)對一已知零起刻線誤差真值的標(biāo)準(zhǔn)度盤進(jìn)行測量,給定測量系統(tǒng)讀數(shù)誤差的各階諧波幅值和相位(Akφk)(k012,…,17),對度盤圓周上均布的N24個測點進(jìn)行測量。采用本測量原理的兩讀數(shù)頭34之間的夾角β56°。應(yīng)用平均讀數(shù)原理的模擬測量采用圓周上均布5個讀數(shù)頭的讀數(shù)方式。讀數(shù)頭43的讀數(shù)值(aibi)、被測標(biāo)準(zhǔn)度盤零起刻線誤差真值io以及采用兩種原理的誤差計算結(jié)果列于下表(因篇幅所限,未列出平均讀數(shù)原理5個讀數(shù)頭的讀數(shù)值)。
  由表可知,與采用平均讀數(shù)原理的測量結(jié)果pi相比,采用本測量原理得出的測量結(jié)果i更接近于被測度盤零起刻線誤差真值oi,其最大間距誤差結(jié)果也更接近于被測度盤真值。由此可見,本測量原理能有效分離和修正圓分度測量系統(tǒng)的讀數(shù)諧波誤差,其測量精度高于均布5個讀數(shù)頭的平均讀數(shù)原理測量方法。理論上,本測量原理能消除全部前N212階諧波讀數(shù)誤差,而平均讀數(shù)原理只能消除非讀數(shù)頭個數(shù)整數(shù)倍的各階諧波讀數(shù)誤差(123467891112階),而殘留了讀數(shù)頭個數(shù)整數(shù)倍的各階諧波讀數(shù)誤差(510階)。由于隨著諧波階數(shù)的增高(k15),讀數(shù)諧波誤差的幅值將減小到102秒數(shù)量級,因此可認(rèn)為本測量原理基本上可以完全消除讀數(shù)諧波誤差。

表 原始數(shù)據(jù)和計算結(jié)果         (單位:秒)

序號 度盤零起刻線
誤差真值oi
原始數(shù)據(jù) 度盤零起刻線誤差計算結(jié)果
讀數(shù)頭4讀數(shù)值ai 讀數(shù)頭3讀數(shù)值bi 本測量原理i 平均讀數(shù)原理pi
0 000 000 -090 000 000
1 050 296 -092 -011 094
2 120 289 294 103 053
3 -070 -096 -045 -119 -193
4 100 -048 109 084 095
5 280 220 365 220 285
6 360 558 508 362 408
7 260 211 093 179 148
8 320 390 -095 335 232
9 180 269 -143 103 176
10 090 192 255 084 103
11 220 -016 041 165 261
12 160 -319 248 145 015
13 140 -002 277 087 087
14 220 328 232 196 216
15 080 -097 363 048 103
16 060 222 343 016 078
17 150 230 242 121 -008
18 -020 -016 -072 -053 -047
19 040 353 090 001 037
20 -070 189 -127 -100 -036
21 -050 -044 044 -095 -070
22 020 021 265 008 -129
23 080 077 062 011 068


  4.有關(guān)問題的討論

  本測量原理能有效提高圓分度測量系統(tǒng)精度的關(guān)鍵在于譜分析技術(shù),其提高測量精度的有效性取決于頻譜分析的精度。眾所周知,在頻譜分析中存在頻率混疊問題。當(dāng)圓周測量點個數(shù)N較小時,FT分析只能分離出較少階次的諧波信號,讀數(shù)信號中實際存在的其余高階諧波將使分離出的前N2階諧波信號失真,這種失真將隨著測量點個數(shù)的減小和實際信號中包含的諧波成分階次的增高而增大,從而使諧波讀數(shù)誤差的修正精度下降。通過適當(dāng)增加測量點個數(shù)雖然可解決這一問題,但測量點太多將使噪聲增大,同樣會引起諧波讀數(shù)誤差的修正精度下降。原則上,解決頻率混疊問題的根本方法是在進(jìn)行FT分析之前進(jìn)行數(shù)字低通濾波,因此,截止頻率的確定和數(shù)字濾波器的設(shè)計將成為決定本測量原理提高圓分度測量系統(tǒng)精度有效性的關(guān)鍵。
  為了能有效分離出前N2階諧波誤差,在測量時必須針對不同的讀數(shù)點個數(shù)適當(dāng)調(diào)整兩讀數(shù)頭之間的夾角ββ角的調(diào)整誤差是否會對測量精度產(chǎn)生影響呢?如果兩讀數(shù)頭間的夾角β有一調(diào)整誤差Δβ,由式(3)~(6)可知,讀數(shù)信號bi中會加入一個常量Δβ,綜合信號di中也會加入一個常量Δβ,在頻譜分析時,該Δβ只會使綜合信號中的0階(直流)分量改變,并不會對各階諧波信號的分離產(chǎn)生影響,故讀數(shù)頭夾角的調(diào)整誤差并不會影響圓分度測量精度,這將有利于應(yīng)用本測量原理的測量裝置的實現(xiàn)。
  本測量原理能有效分離和修正圓分度測量系統(tǒng)的讀數(shù)諧波誤差對測量精度的影響,但與平均讀數(shù)原理一樣,這并不意味著對主軸回轉(zhuǎn)精度和被測度盤安裝精度沒有要求,在測量中,主軸徑向晃動和被測度盤安裝偏心引起的瞄準(zhǔn)誤差會對測量精度產(chǎn)生直接影響。但在測量多面棱體時,如果采用自準(zhǔn)直儀對被測多面棱體進(jìn)行瞄準(zhǔn),則主軸晃動不會對測量精度產(chǎn)生影響,此時可以認(rèn)為采用本測量原理能夠以較低精度的圓分度測量系統(tǒng)實現(xiàn)對高精度多面棱體的測量。
  由于本測量原理能實時、有效地分離出測量系統(tǒng)中前幾十階具有較大幅值的諧波誤差,并消除其對測量精度的影響,因此其實際意義在于降低了對標(biāo)準(zhǔn)度盤精度和標(biāo)準(zhǔn)度盤安裝精度的要求,使圓分度測量系統(tǒng)的制造難度和制造成本下降,并使測量易于實現(xiàn)。
  在角度測量中,本測量原理雖不能實時地消除測量系統(tǒng)的讀數(shù)諧波誤差對測量精度的影響,但可以在進(jìn)行角度測量前先進(jìn)行上述測量過程,求得測量系統(tǒng)的讀數(shù)諧波誤差后,再對角度測量結(jié)果進(jìn)行讀數(shù)諧波誤差的修正,從而達(dá)到提高角度測量精度的目的。

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