氫氣
氫氣純化裝置有效提升多晶硅純度(2013-07-19)
中科院大連化物所、大連華海制氫設備有限公司共同研發的金屬鈀復合膜氫氣純化裝置日前完成了200m3/h規模工業化示范。該技術徹底解決了多晶硅生產循環氫氣中痕量和超痕量雜質難以去除的難題。 該…[詳情]
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氫氣純化裝置有效提升多晶硅純度(2013-07-19)
中科院大連化物所、大連華海制氫設備有限公司共同研發的金屬鈀復合膜氫氣純化裝置日前完成了200m3/h規模工業化示范。該技術徹底解決了多晶硅生產循環氫氣中痕量和超痕量雜質難以去除的難題。 該…[詳情]