5項電子氣體標準通過審查
作者： 2014年11月27日 來源： 瀏覽量：
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《純甲烷和高純甲烷》等5項國家標準近日通過了全國氣體標準化技術委員會、全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會、全國標準樣品技術委員會氣體標樣工作組和全國氣體標準化技術委員會氣體分析分會組織的專家
《純甲烷和高純甲烷》等5項國家標準近日通過了全國氣體標準化技術委員會、全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分會、全國標準樣品技術委員會氣體標樣工作組和全國氣體標準化技術委員會氣體分析分會組織的專家審查。
全國氣體標準化技術委員會近日在西安召開全國氣體標準化聯合會議，對《純甲烷和高純甲烷》、《電子工業用氣體 丙烯》、《電子工業用氣體 硅烷》、《氣體中微量氧的測定 電化學法》、《電子工業用氣體 三氟甲烷》5項國家標準進行了審查。專家認為，制修訂后各項標準的科學性、合理性、可操作性有較大提高，達到國際先進標準水平。
西南化工研究設計院副院長王曉東指出，氣體行業各項標準的制定和完善對營造公平競爭環境、構建統一市場規則具有重要的現實意義。
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