技術介紹：

    低溫等離子體凈化技術是近年來發展起來的廢氣治理新技術。等離子體被稱為物質的第4種形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化就是利用介子放電所產生的等離子體以極快的速度反復轟擊廢氣中的異味氣體分子，去激活、電離、裂解廢氣中的各種成分，通過氧化等一些列復雜的化學反應，打開污染物分子內部的化學鍵，使復雜的大分子污染物轉變為一些小分子的安全物質（如二氧化碳和水），或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害的物質。

    其反應機理為：

    等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下

    (1)電場＋電子→高能電子

    (2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團

    (3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

    (4)活性基團＋活性基團→生成物+熱

    過程一：高能電子直接轟擊

    過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片

    O2+2e→2O·

    O2+O·→O3+e

    H2O+2e→H·+HO·

    H2O+O·+e→2HO·

    H·+O2→HO·+O

    C(a+b)H(m+n)O(x+y)+2e→CaHmOx·+CbHnOy·

    過程三：分子碎片氧化

    CaHmOx+HO·→CO2+H2O

    CaHmOx+O·→CO2+H2O

    CaHmOx+O2→CO2+H2O

    CaHmOx+O3→CO2+H2O

    經過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量。相關反應機理如下：

    H2O+e→H·+HO·+e

    H·+O3→O2+HO·

    HO·+O3→HO2·+O2

    HO2·+O3→HO·+O2

    因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。